Podle EN wiki: Nějaký čas se používal Hliník, ale kvůli jeho nevhodným vlastnostem (difunduje do polovodiče) se používá polysilicon, takže křemík.. Nevylučuji že pro některé procesy se bude pužívat něco jiného…
0 Nominace Nahlásit |
Doplním Dochyho, že polykrystalický křemík začíná mít při výrobní technologii 45 nm a méně nevýhodné vlastnosti, takže vývoj se opět vrací ke kovům, tentokrát už však ne hliník, k použití jsou kovy jako Ta, TaN, Nb a WN/RuO₂ spolu s vysoce dielektrickými materiály (high-k) v pozici „oxide.“
Zdroj: http://en.wikipedia.org/wiki/Metal_gate
0 Nominace Nahlásit |
U otázky nebylo diskutováno.
Nový příspěvek